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產(chǎn)品中心

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半導(dǎo)體車間有毒氣體快速檢測儀

產(chǎn)品簡介

pGas200-ASM-SC-6s 半導(dǎo)體車間有毒氣體快速檢測儀專為要求準確區(qū)別混合氣中不同組分的特定工業(yè)環(huán)境氣體分析或其它環(huán)境氣體探測應(yīng)用而設(shè)計。對于混合氣有較高的分辨能力，可以作為高可靠性報警或普通分析用途應(yīng)用。最多可配置6個用戶參數(shù)。充電電池供電，連續(xù)供電15-30Hr。

產(chǎn)品型號：pGas200-ASM-SC-6s
更新時間：2024-10-14
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
訪問量：294
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品牌Bigdipper/北斗星儀器產(chǎn)地類別國產(chǎn)
測試氣體?硅烷、磷化氫、砷化氫、氯化物、氟化物、氫氣技術(shù)EC
采樣方式擴散式采樣標準報警TWIN
主機分辨率0.025%FS探頭準確度 ±1-2%讀數(shù)(一般)
探頭響應(yīng)時間<1min環(huán)境溫度-10℃～60℃
環(huán)境濕度10%～90%R（無結(jié)露）采樣溫度 0-40℃
采樣壓力<1.1 kgf/cm2供電電池6V充電蓄電池

pGas200-ASM-SC-6s 半導(dǎo)體車間有毒氣體快速檢測儀是一款專門用于檢測半導(dǎo)體工廠中可燃、有毒、有害氣體泄漏的實用型產(chǎn)品，具有高靈敏度、高可靠性、低濃度檢測等特點，可檢測硅烷、磷化氫、砷化氫、氯化物、氟化物、氫氣、氨氣等上百種氣體，適用于半導(dǎo)體、液晶面板、光伏和電池制造等行業(yè)。電化學(xué)探頭直接采樣，配有方便背包、打印功能，對現(xiàn)場檢測、或?qū)嶒炇覚z測尤其方便適用。

便攜式氣體分析儀應(yīng)用：

環(huán)境檢測

污染源檢測

工業(yè)工藝現(xiàn)場分析

科學(xué)研究實驗室分析

軍事毒氣安全

勞動安全，施工安全

化學(xué)泄露、事故分析


pGas200-ASM-SC-6s 半導(dǎo)體車間有毒氣體快速檢測儀技術(shù)指標:

BD4主機測試ADC分辨率: 0.025%FS

電化學(xué)探頭準確度: ±1-2%讀數(shù)(一般)

長期穩(wěn)定性: +/-10% /年 (一般)

分析器響應(yīng)時間：< 10ms

探頭響應(yīng)時間：<1min

儀器使用環(huán)境: 溫度：-10℃～60℃; 濕度：10%～90%R（無結(jié)露）

儀器保存環(huán)境: 溫度： 0℃～50℃; 濕度：10%～80%R（無結(jié)露）

電化學(xué)探頭直接采樣: 溫度: 0-40℃; 壓力:<1.1 kgf/cm2

供電: 6V充電蓄電池

連續(xù)使用時間: >24Hr/每次充電; 電池置放時間1周。


便攜式有毒氣體快速檢測儀測試參數(shù)及技術(shù)指標：

技術(shù)參數(shù)

技術(shù)

說明

PH3-4PH:0.05-20ppm

SiH4-4SL:0.05-50ppm

AsH3-3E1:0.015-1ppm

Chlorides: 0.7-30ppm

Fluorides: 0.25-10ppm

H2:0-4%VOl

EC

EC

EC

EC

EC

EC

擴散式采樣; 半導(dǎo)體車間全毒氣報警, 有一定的區(qū)辯能力.

Chlorides對HCl,SiH2Cl2, S2Cl2, GeCl4, PCl3, PCl5, POCl3, SiCl4, TiCl4, SiHCl3, C3Cl3N3都有響應(yīng);

Fluorides對HF,COF2,S2F10,SO2F2,SnF4,C3F3N3都有響應(yīng); Gas200通過標定系統(tǒng)甚至可能對H2B6.GeH4,H2Se進行定性定量探測.


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